鈦泵檢漏儀工作原理

傳統的鈦泵電源只用于去除密封裝置中的殘留空氣，不需要穩壓輸出。因此，輸出電壓隨著電網的波動和負載電流的大小而波動。鈦泵電源作為一種特殊的泄漏檢測，要求穩壓輸出，才能判斷輸出電流增量是微泄漏的電流增量，從而找到泄漏位置。由于鈦泵電源的特點是輸出高電壓、小電流（甚至無電流）。因此，我們選擇了開關電源的技術方案，一般開關電源不允許空載（即在微電流下不能工作），但鈦泵泄漏檢測儀的工作是一般開關電源的禁區。為了解決這個問題，我們采取了一些措施，使開關電源在完全空載的情況下不會損壞。電流采樣的技術方案是將電流增量轉化為電壓增量，簡化整體電路設計。計算放大器和輸出信號的零位調整是鈦泵泄漏檢測儀能否達到效果的關鍵問題，尤其是輸出信號的零位調整。在電流采樣中，已經提到將電流信號轉換為電壓信號。

因此，電壓放大器可以用于計算放大器。目前，有許多高穩定性和低漂移的計算放大器，這并不難解決。關鍵是零，至關重要。原因有兩個。首先，在不同的測量范圍內，計算放大器的放大倍數是不同的。無論放大多好，輸出信號在不同的閉環放大倍數下總會有所不同；二是負載（指鈦泵）本身，由于導線絕緣性能差，會造成一定數量的漏電流。這種漏電流往往大于實際顯示真空裝置中的壓力電流。因此，在鈦泵泄漏檢測儀的電路設計中，要考慮減少這部分無用的漏電流，以達到高靈敏度顯示的目的。因此，我們通過調整零來解決漏電流的影響。負載（鈦泵）電流指示由于計算放大器的輸出信號是電壓，因此我們將輸出的電壓轉換為電流顯示。

以下簡要介紹了鈦泵泄漏檢測的工作原理?；阝伇脤π孤怏w泵送速度的選擇性。當真空密封裝置有輕微泄漏時，鈦泵的泵送量等于泄漏量，形成一定的平衡壓力。平衡壓力類型如下：Pt=P1+1/V[FQL+（Qidt）]（1）在真空密封裝置中，假設QL≤（Pt-P1）V/t（2）離開裝置的時間；P1離開前排氣系統的*限壓力；QL一個裝置的實際泄漏；Qi一個裝置的泄漏；V一個裝置的體積。

鈦泵主要依靠化學吸附排除活性氣體O2.H2.CO2等氣體，降低密封裝置內的壓力，降低鈦泵的放電電流，消除惰性氣體He.Ar等氣體主要依靠物理吸附，使鈦泵的放電電流較大?？梢钥闯?，當鈦泵的放電電流與平衡壓力成正比時，通過漏孔進入鈦泵時，泵電流會發生變化。根據這一變化，可以檢測到真空密封裝置的漏孔。